LMG2A

产品名称：LMG2A产品介绍:产品特征:最大行程4m x 4m以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台良好接地设计防止杂讯干扰 Z向震动可达奈米等級以下最大速度可达5m/s 标准重現精度1um或以下位置回馈系统解析度最低可达50nm产品应用:半导体设备自动化搬送FPD设备太阳能制造设备PCB设备水刀设备钻石切割设备AOI检测设备工具机